2017年11月22日,北方华创(41.11 -4.22%,诊股)下属子公司北京北方华创微电子装备有限公司自主研发的国内首台8英寸金属刻蚀设备Move in中国最大代工厂生产线,为国产高端装备在国内集成电路芯片生产线的应用再添新秀,是国产高端装备应用工艺的又一次重要突破。

北方华创微电子本次推出的产品为NMC508M metal Etch设备,应用于8英寸0.13um及以下技术代Al金属刻蚀工艺。Al金属刻蚀是集成电路制程中的一道重要工艺步骤,广泛用于存储器及逻辑产品中。NMC508M metal Etch设备是北方华创微电子基于多年在集成电路刻蚀设备技术积累基础上,针对终端用户的需求进行了设备的深度定制开发,在8英寸传统刻蚀技术基础上集成应用了多项12英寸刻蚀设备的先进技术,关键技术指标达到国际先进水平。

NMC508M metal Etch设备Move in国内主流芯片制造企业是北方华创微电子在市场拓展中取得的又一个重要成绩,标志着国产设备打破了国际设备厂商的垄断,改变了近年来8英寸金属刻蚀机一机难求的艰难局面。同时,国产金属刻蚀设备国产化应用,不仅有利于降低芯片生产企业设备采购成本,而且能使国内芯片企业能获得国内设备厂商的更优质和便捷的技术服务。

到目前为止,北方华创微电子已陆续开发出硅刻蚀机、扩散炉、金属刻蚀机等8英寸集成电路工艺设备,在国内生产线开始了批量应用。北方华创微电子将以客户需求为导向,进行持续的技术和产品创新,不断为国内集成电路产业提供更优质的装备解决方案。

本文摘自：中国半导体照明网