12月18日消息，纳米电子和数字技术的研究和创新中心Imec推出了据说是作为生物传感器功能的最小硅鳍式FET。
imec表示，该产品实现了超小尺寸(13纳米鳍宽和50纳米栅极长度)，并在imec的300毫米洁净室中采用与CMOS兼容的工艺流程制造，实现了量产，并可集成到高通量、高成本效益的检测工具中，10,000个这种 "生物FET "可并行工作。imec表示，该公司展示的检测极限为几十个分子，最终目标是能够感应单个DNA分子的高精度BioFET。
由于其高集成度和低成本的潜力，场效应晶体管(FET)在DNA、蛋白质和病毒检测或pH值传感等生物传感应用中获得了很大的兴趣。
当生物分子与化学修饰的栅极电介质表面结合时，其阈值电压会发生变化，从而产生可测量的信号。然而，尽管该领域的研究取得了进展，但BioFET器件尚未将其所有潜力转化为成功的产品。Imec已经探索了先进的一代CMOS FET器件，即所谓的具有三维短长度栅极的finFET如何提高BioFET的灵敏度，并开辟新的应用。这些finFET在高集成度和并行化方面具有优势，但人们对其作为BioFET的潜力了解甚少。
imec的生物finFET器件长度达到50纳米，已经能够证明DNA杂交的强大信号，并在纳米级finFET的表面检测到几十个DNA分子。
基于实验和模拟，imec预测70纳米以下的finFET可以实现信噪比（SNR）大于5的单分子检测。
"凭借我们对不断加快计算和数据访问速度的贪婪渴望，半导体行业已经到了这样一个地步，我们现在可以将大量的纳米级器件集成到令人难以置信的复杂系统中，而这仅仅是在几平方毫米的硅片上，使用几乎达到原子精度的大规模制造方法，"imec健康技术首席技术官Peter Peumans解释说。
"我们利用这些能力不仅是为了制造更好的计算机或通信设备，而且是为了实现基于芯片的生命科学工具，这些工具在揭示迄今为止无法获得的生物学细节方面具有改变游戏规则的能力。"
