MEMS压力传感器的工作原理及特点解析

MEMS     压力传感器   又称机油压     力传感器   ,在日常生活中也有普遍的应用,那么MEMS压力     传感器   究竟是如何进行工作的呢?产品有哪些特点?下面工控小编来给大家介绍一下MEMS压力传感器的工作原理及特点。希望对大家有所帮助!

 MEMS压力传感器的工作原理及特点解析_设计制作_嵌入式技术

MEMS压力传感器(     Mi   cro Elect     rom   echanical Sys     te   m,即微电子     机械   系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制     电路       接口   电路、通信和电源于一体的微型机电系统。

MEMS压力传感器的工作原理

目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅     电容   式压力传感器,两者都是在硅片上生成的微机械电子传感器。

硅压阻式压力传感器是采用高精密半导体     电阻   应变片组成惠斯顿     电桥   作为力电变换     测量   电路的,具有较高的测量精度、较低的功耗和极低的成本。惠斯顿电桥的压阻式传感器,如无压力变化,其输出为零,几乎不耗电。

MEMS硅压阻式压力传感器采用周边固定的圆形     应力   杯硅薄膜内壁,采用MEMS技术直接将四个高精密半导体应变片刻制在其表面应力最大处,组成惠斯顿测量电桥,作为力电变换测量电路,将压力这个物理量直接变换成电量,其测量精度能达0.01-0.03%FS。

电容式压力传感器利用MEMS技术在硅片上     制造   出横隔栅状,上下二根横隔栅成为一组电容式压力传感器,上横隔栅受压力作用向下位移,改变了上下二根横隔栅的间距,也就改变了板间电容量的大小,即△压力=△电容量。

MEMS压力传感器的特点

MEMS压力传感器可以用类似     集成电路   的设计技术和制造工艺,进行高精度、低成本的大批量生产,从而为消费电子和工业过程控制产品用低廉的成本大量使用MEMS传感器打开方便之门,使压力控制变得简单、易用和智能化。

传统的机械量压力传感器是基于金属弹性体受力变形,由机械量弹性变形到电量转换输出,因此它不可能如MEMS压力传感器那样,像集成电路那么微小,而且成本也远远高于MEMS压力传感器。

相对于传统的机械量传感器,MEMS压力传感器的尺寸更小,最大的不超过一个厘米,相对于传统“机械”制造技术,其性价比大幅度提高。

责任编辑;zl

78
123
0
78

相关资讯

  1. 1、如何使用Paint3D抠图?2942
  2. 2、Win10专业版电脑系统怎么给c盘扩容?Win10系统盘扩容方法教程105
  3. 3、逍遥安卓模拟器没有声音怎么办?2416
  4. 4、Win10专业版系统16g内存最佳虚拟内存怎么设置?2834
  5. 5、Win11输入法切换快捷键怎么设置?Win11输入法切换快捷键设置方法1812
  6. 6、Win102021年三月累计更新哪些补丁会导致电脑蓝屏?724
  7. 7、正在使用电脑突然蓝屏怎么办?小编教你几种常规解决电脑蓝屏方法2749
  8. 8、多看阅读APP怎么去除广告?多看阅读APP去除广告的方法443
  9. 9、CPU天梯图2021年3月最新版CPU性能排行天梯图20213298
  10. 10、如何在映客直播中直播唱歌?映客直播直播唱歌的方法2033
全部评论(0)
我也有话说
0
收藏
点赞
顶部